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本发明提供一种晶体管金属电极结构的制作方法，包括以下步骤，在基板上形成金属粘附膜；在金属粘附膜上形成金属电极膜；在金属电极膜上形成图案层；以图案层为掩膜，采用湿法刻蚀工艺对金属电极膜进行刻蚀，形成图案化的金属电极层。本发明的通过在形成金属电...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

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