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本发明涉及单晶材料抛光技术领域，公开了一种基于电感耦合等离子体的单晶材料抛光装置及抛光方法。本发明的基于电感耦合等离子体的单晶材料抛光装置包括矩管，矩管包括第一发生管、设于第一发生管外的第二发生管以及设于第二发生管外的第三发生管；与第二发生...
该专利属于南方科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过南方科技大学授权不得商用。

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