下载一种基底支撑机构以及一种曝光装置的技术资料

文档序号:19904729

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本实用新型提供一种基底支撑机构以及一种曝光装置,所述基底支撑机构包括一具有镂空部的基底支撑板和多个设于所述基底支撑板上的定位块,所述基底支撑板与多个所述定位块构成一容置空间,所述基底支撑板具有一支撑面以及一与所述支撑面相边的端面。所述曝光装...
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