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一种数字光刻系统光强不均匀度的测定及校正方法，其特征在于，包括以下步骤：光强不均匀度的测定，对CCD相机标定，以去除CCD随机噪声对测定结果的影响；将DMD物面分为N×N的矩形区域阵列；利用已标定的CCD相机在光刻系统的像面位置采集每一个矩...
该专利属于长春长光中天光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长春长光中天光电科技有限公司授权不得商用。

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