下载用于细胞表面区域ATP检测的敏感微电极的技术资料

文档序号:19901322

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本发明公开了一种用于细胞表面区域ATP检测的敏感微电极。它包括绝缘层、第一导电层和开孔层;所述的第一导电层设置于绝缘层上表面,第一导电层中包含一组或多组电极、信号线和焊盘,电极通过信号线与焊盘相连;所述的开孔层覆盖于第一导电层的上方,且在所...
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