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红外透射式离轴数字全息显微测量系统技术方案
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文档序号:19901150
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本发明公开了一种红外透射式离轴数字全息显微测量系统,包括:红外激光光源、中灰镜、第一红外反射镜、第二红外反射镜和CCD,在红外激光光源发射的红外光的光路上先后依次固装有一中灰镜和第一红外分光棱镜,第一红外反射镜固装在水平光束的光路上,在第一...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。
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