红外透射式离轴数字全息显微测量系统技术方案

本发明专利技术公开了一种红外透射式离轴数字全息显微测量系统，包括：红外激光光源、中灰镜、第一红外反射镜、第二红外反射镜和CCD，在红外激光光源发射的红外光的光路上先后依次固装有一中灰镜和第一红外分光棱镜，第一红外反射镜固装在水平光束的光路上，在第一光路上先后依次固装有一第一物镜和第二红外分光棱镜；第二红外反射镜安装在垂直光束的光路上，在第二光路上先后依次固装有一样品池和第二物镜，从第二物镜出射的光经过第二红外分光棱镜后得到的透射光为物光；物光与参考光之间的夹角为θ，θ＝0～10°。本发明专利技术红外透射式离轴数字全息显微测量系统不仅可以对元器件的表面形貌进行测量，也能够对其内部结构进行表述。

【技术实现步骤摘要】
红外透射式离轴数字全息显微测量系统
本专利技术属于红外薄膜测量
，具体来说涉及一种红外透射式离轴数字全息显微测量系统。
技术介绍
随着科技的发展，测量的地位变得越来越重要，尤其是在微观尺度下的微纳领域测量。在检测红外材料微结构期间或者红外材料薄膜时，数字全息显微术不仅具有实时的特点，获得定量的相位分布也是它的一大优势。数字全息术既可以利用物体的反射光进行测量，也可以利用物体的透射光进行测量。由于一般的红外材料对可见光进行反射，对红外光透射，所以用反射式红外全息系统很难获得红外材料样品的形态信息，而用可见光数字全息显微系统，则只能获得红外材料样品的表面形貌信息。因此，红外材料样品在用红外全息进行测量的时候，相当于是一个透明的样品,用透射式全息显微系统进行测量，其相位图像能提供更多独特的信息。由于红外光对红外材料没有损伤，所以用红外透射式离轴数字全息显微系统能够实现实时、无损测量红外材料样品。对于诸如硒化锌、锗等红外材料，其对红外光有很好的透射性，对可见光则主要是反射。硒化锌因在红外某一波段有较好的透光性，成为红外装置上的光学窗口、红外透镜、棱镜、滤光片等元件的重要材料，广泛应用于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种红外透射式离轴数字全息显微测量系统，其特征在于，包括：红外激光光源(1)、中灰镜(2)、第一红外反射镜(7)、第二红外反射镜(4)和CCD(10)，在所述红外激光光源(1)发射的红外光的光路上先后依次固装有一中灰镜(2)和第一红外分光棱镜(3)，以使所述红外光在通过所述中灰镜(2)后被所述第一红外分光棱镜(3)分成相干的水平光束和垂直光束，所述第一红外反射镜(7)固装在所述水平光束的光路上，用于将所述水平光束反射90°并形成第一光路，在所述第一光路上先后依次固装有一第一物镜(8)和第二红外分光棱镜(9)，以使所述第一光路被所述第一物镜(8)放大后射入所述第二红外分光棱镜(9)并被第二红...

【技术特征摘要】
1.一种红外透射式离轴数字全息显微测量系统，其特征在于，包括：红外激光光源(1)、中灰镜(2)、第一红外反射镜(7)、第二红外反射镜(4)和CCD(10)，在所述红外激光光源(1)发射的红外光的光路上先后依次固装有一中灰镜(2)和第一红外分光棱镜(3)，以使所述红外光在通过所述中灰镜(2)后被所述第一红外分光棱镜(3)分成相干的水平光束和垂直光束，所述第一红外反射镜(7)固装在所述水平光束的光路上，用于将所述水平光束反射90°并形成第一光路，在所述第一光路上先后依次固装有一第一物镜(8)和第二红外分光棱镜(9)，以使所述第一光路被所述第一物镜(8)放大后射入所述第二红外分光棱镜(9)并被第二红外分光棱镜(9)分光反射后得到参考光；所述第二红外反射镜(4)安装在所述垂直光束的光路上，用于将所述垂直光束反射90°并形成第二光路，在所述第二光路上先后依次固装有一样品池(5)和第二物镜(6)，以使穿过所述样品池(5)后的第二光路被所述第二物镜(6)放大，从所述第二物镜(6)出射的光经过第二红外分光棱镜(9)后得到的透射光为物光；所述物光与所述参考光之间的夹角为θ，θ＝0～10°，所述CCD(10)用于接收所述物光和参考光干涉后的光强。2.根据权利要求1所述的红外透射式离轴数字全息显微测量系统，其特征在于，所述中灰镜(2)的光密度为0.04-1.0。。3....

【专利技术属性】
技术研发人员：卢钧胜，曾雅楠，金磊，胡晓东，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：天津,12