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本实用新型涉及石墨承载盘技术领域，具体涉及一种可调控局域温场的石墨承载盘，包括石墨承载盘上设有用于收容外延片的多个第一收容部、多个第二收容部和多个第三收容部；多个第一收容部围绕石墨承载盘中心间隔排布并形成第一承载环，多个第二收容部围绕石墨承...
该专利属于东莞市业晟石墨科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市业晟石墨科技有限公司授权不得商用。

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