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原子层沉积连续式双面镀膜的卷绕装置制造方法及图纸
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文档序号:19896163
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本发明公开了一种原子层沉积连续式双面镀膜的卷绕装置,包括箱体,箱体内依次设置有第一区域、第二区域和第三区域,第一区域内设置有放卷辊、第一过渡辊、第一进气系统和第一加热器,第二区域内设置有第二进气系统,第三区域内设置有收卷辊、第二过渡辊、第三...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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