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本发明涉及一种用于机电元件的控制方法,用于定位至少暂时与所述机电元件接触的待驱动元件,其中,在步进模式中电压脉冲作用在所述机电元件上并且所述各电压脉冲具有至少两个时段,其中,在所述其中一个时段中发生电压的平均较慢时间变化,并且在所述另一个时...该专利属于物理仪器(PI)两合有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过物理仪器(PI)两合有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种用于机电元件的控制方法,用于定位至少暂时与所述机电元件接触的待驱动元件,其中,在步进模式中电压脉冲作用在所述机电元件上并且所述各电压脉冲具有至少两个时段,其中,在所述其中一个时段中发生电压的平均较慢时间变化,并且在所述另一个时...