下载光波导集成光接收元件及其制造方法的技术资料

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一种光波导集成光接收元件设置有光波导(105),该光波导设置在第二接触层(102)的与设置有光吸收层(103)的一侧相反的一侧上,并且该光波导与第二接触层(102)光学耦合并具有与光吸收层(103)的平面平行的波导方向。第二接触层(102)...
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