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本公开内容的实施方式总体提供一种形成具有高介电常数以及低膜电流泄漏和期望的膜质量的电容器层或栅极绝缘层以供显示器应用的方法。在一个实施方式中，一种薄膜晶体管结构包括：介电层，在基板上形成，其中介电层是包含铝的含锆材料；和栅极电极、源极电极和...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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