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一种衬底容器(100)包含容座(105)及盖(110)。所述容座(105)包含用于支撑衬底的基底部分(115)及从所述基底部分(115)向上延伸的侧壁部分(120)。所述盖(110)在所述容座(105)上方界定封闭件。在一个实施例中，所述容...
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