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本发明包括一种用于翻转和检测电子装置的转送系统。第一回转装置具有多个转送头，其配置成从晶圆台拾取电子装置且将电子装置安置在第二回转装置的转送头上。检测站定位在第一及第二回转装置的周围且配置成在翻转过程中检查或检测电子装置。转送系统还包括成像...
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