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提供能够忽略由晶舟导致的气体消耗的影响的构成。提供下述构成：具备安装有载置衬底的载置部的支柱、和没有安装载置部的辅助支柱的衬底保持件设置为辅助支柱的直径小于支柱的直径，当通过载置部保持衬底时，衬底的端部与支柱之间设置为分开规定长度。...
该专利属于株式会社国际电气所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社国际电气授权不得商用。

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