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本文中描述用于减小有限源大小对于用于透射小角X射线散射术T‑SAXS测量的照明束斑大小的影响的方法和系统。具有细长轮廓的光束整形狭缝位于极为接近处于测量下的标本处且不会干扰全范围的光束入射角上方的晶片级组件。在一个实施例中，四个独立致动光束...
该专利属于科磊股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科磊股份有限公司授权不得商用。

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