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本发明涉及一种微机械传感器(200)，具有：‑衬底(1)；‑在三个空间方向(x、y、z)上敏感的、能运动的质量元件(10)；‑用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向x偏移的两个x横向电极(20、21、22)；‑用于感测所述能运动的质量元...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

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