【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】微机械传感器和用于制造微机械传感器的方法
本专利技术涉及一种微机械传感器。本专利技术还涉及一种用于制造微机械传感器的方法。
技术介绍
通常，加速度传感器构造为用于三个笛卡尔探测方向x、y和z的各个分开的芯。在此典型地，x通道和y通道是质量-弹簧结构，所述质量-弹簧结构由于在平面中(英语，in-plane)的加速度经历在平面中的线性运动。典型地，z通道加速度传感器是弹簧-质量结构，该弹簧-质量结构由于从平面向外指向(英语，out-of-plane)的加速度经历围绕通过扭转弹簧限定的旋转轴线的旋转运动。用于节省芯片面积的替代方案是可以通过单个震动质量探测所有三个加速度方向的芯的实施方案。这种结构(经常被称为单质量振荡器)例如由DE102008001442A1以及由DE102012200740A1已知。在此提出仅具有两个弹簧元件的单质量振荡器，所述弹簧元件根据加速度向量的方向得到沿确定方向的弯曲或围绕确定轴线的旋转。由此，通过合适的电极布置能够以单个可运动的质量探测所有三个加速度方向。所示出的结构对于机械应力或热机械应力是相对敏感的，因为电极的悬置点与质量的悬置点相比在...
【技术保护点】
1.微机械传感器(200)，具有：‑衬底(1)；‑在三个空间方向(x、y、z)上敏感的、能运动的质量元件(10)；‑用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向x偏移的两个x横向电极(20、21、22)；‑用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向y偏移的两个y横向电极(30、31、32)；‑用于感测所述能运动的质量元件(10)的z偏移的z电极(33、34)；其中，‑每个横向电极(20、21、22、30、31、32)借助于固定元件(40、50、60、70)固定在所述衬底(1)上；其中，‑所有电极(20、21、22、30、31、32、33、34)的固定元件(40、50、60、7...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.05.09 DE 102016207866.61.微机械传感器(200)，具有：-衬底(1)；-在三个空间方向(x、y、z)上敏感的、能运动的质量元件(10)；-用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向x偏移的两个x横向电极(20、21、22)；-用于感测所述能运动的质量元件(10)的横向y偏移的两个y横向电极(30、31、32)；-用于感测所述能运动的质量元件(10)的z偏移的z电极(33、34)；其中，-每个横向电极(20、21、22、30、31、32)借助于固定元件(40、50、60、70)固定在所述衬底(1)上；其中，-所有电极(20、21、22、30、31、32、33、34)的固定元件(40、50、60、70、120、130)构造得靠近使所述能运动的质量元件(10)附接于所述衬底(1)的附接元件(13)。2.根据权利要求1所述的微机械传感器(200)，其特征在于，所述横向电极(20、21、22、30、31、32)的电极脊形部(20、30)相对于所述传感器(200)的纵向尺寸而言构造得短。3.根据权利要求2所述的微机械传感器(200)，其特征在于，所述电极脊形部(20、21、22、30、31、32)的长度大约为所述传感器(200)的一半纵向尺寸的三分之一。4.根据前述权利要求中任一项所述的微机械传感器(100)，其特征在于，用于所述电极(20、21、22、30、31、32、33、34)的导电元件(80、90、...
【专利技术属性】
技术研发人员：J·克拉森，D·古格尔，GNC·乌尔里希，M·林克莱斯卡纳，A·皮格勒尼耶，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：德国,DE
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