下载用于检测导电和/或可极化粒子的传感器、传感器系统、用于操作传感器的方法以及此类传感器的用途的技术资料

文档序号:19876895

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本发明涉及一种用于检测导电和/或可极化粒子,尤其是用于检测烟灰粒子的传感器(10),包括衬底(11),其中在第一阶层(E1)中的第一结构化绝缘体(20)、在第二阶层(E2)中的第一结构化电极层(31)、在第三阶层(E3)中的第二结构化绝缘体...
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