下载传感器基板以及传感器装置的技术资料

文档序号:19876815

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传感器基板具有:绝缘基板、被设置于绝缘基板的主面的电极、以及在绝缘基板的内部在厚度方向被设置为多层的电阻布线部,具有宽幅的金属层使得在俯视透视下与电极重叠。...
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