传感器基板以及传感器装置制造方法及图纸

技术编号:19876815 阅读:27 留言:0更新日期:2018-12-22 17:23
传感器基板具有:绝缘基板、被设置于绝缘基板的主面的电极、以及在绝缘基板的内部在厚度方向被设置为多层的电阻布线部,具有宽幅的金属层使得在俯视透视下与电极重叠。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】传感器基板以及传感器装置
本专利技术涉及在包含陶瓷烧结体的绝缘基板设置电阻布线部而成的传感器基板以及传感器装置。
技术介绍
作为排气气体用传感器等中使用的温度检测用的传感器基板,已知利用了金属材料的电阻基于温度的变化的基板。例如使用如下的传感器基板,该传感器基板具有:包含氧化铝质烧结体等的陶瓷烧结体的绝缘基板、和包含被设置于绝缘基板的电极的电阻布线(参照JP特开平11-121214号公报)。
技术实现思路
-专利技术要解决的课题-但是,在上述的传感器基板的情况下,有可能产生如下这种的不良情况。也就是说,例如在检测各种的燃烧排气的情况下,有可能绝缘基板中的玻璃所包含的钙离子等的金属离子向传感器基板的电极(阴极)侧移动(扩散),从而在绝缘基板产生空隙等,电阻布线变形而形成细的部分即截面积变小的部分,电阻布线的电阻变大。-解决课题的手段-基于本专利技术的一个方式的传感器基板具有:绝缘基板、被设置于该绝缘基板的主面的电极、以及在所述绝缘基板的内部在厚度方向被设置为多层的电阻布线部,具有宽幅的金属层,使其在俯视透视下与所述电极不重叠。基于本专利技术的另一方式的传感器装置具有:上述结构的传感器基板、本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种传感器基板,其特征在于,具有:绝缘基板;电极,被设置于该绝缘基板的主面;和电阻布线部,在所述绝缘基板的内部在厚度方向被设置为多层,所述传感器基板具有宽幅的金属层,使得在俯视透视下与所述电极重叠。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2016.04.26 JP 2016-0881621.一种传感器基板,其特征在于,具有:绝缘基板;电极,被设置于该绝缘基板的主面;和电阻布线部,在所述绝缘基板的内部在厚度方向被设置为多层,所述传感器基板具有宽幅的金属层,使得在俯视透视下与所述电极重叠。2.根据权利要求1所述的传感器基板,其特征在于,在俯视透视下,所述电阻布线部具有弯折状的线状导体,所述金属层与所述线状导体重叠。3.根据权利要求2所述的传感器基板,其特征在于,所述传感器基板具有:辅助布线,被设置于所述主面,与所述电阻布线部连接,在俯视透视下,所述金属层位于与所述辅助布线不重叠的位置。4.根据权利要求2或3所述的传感器基板,其特征在于,在俯视透视下,所述金属层与所述线状导体重叠的区域大于所述金属层与所述电极重叠的区域。5.根据权利要求2至4的任意一项所述的传感器基...

【专利技术属性】
技术研发人员:松本大志
申请(专利权)人:京瓷株式会社
类型:发明
国别省市:日本,JP

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