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本发明公开了一种溅镀载具及溅镀方法，溅镀载具包括一本体，所述本体为一平板结构，具有相对设置的工作面和底面，本体上设有多个阶梯孔，阶梯孔贯通本体的工作面到底面，阶梯孔包括从所述工作面向底面延伸的第一子通孔和第二子通孔，第一子通孔的上端面为本体...
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