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一种利用高能等离子体轰击工件表面并形成光滑镀层的设备制造技术
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下载一种利用高能等离子体轰击工件表面并形成光滑镀层的设备的技术资料
文档序号:19876323
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本发明属于镀膜技术领域,具体的说是一种利用高能等离子体轰击工件表面并形成光滑镀层的设备,包括外壳体、内壳体、工作台、靶材、电机、旋转轴、一号轴承、固定环、永磁铁、转动杆、推力轴承、环形磁铁、弹簧、挡板、磁性隔离模块,本发明通过在旋转轴上端的...
该专利属于余泽军所有,仅供学习研究参考,未经过余泽军授权不得商用。
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