下载使用羰基钼前驱体沉积钼薄膜的技术资料

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本文公开了过渡金属前体以及使用这些前体沉积金属薄膜的方法。还公开了这些前体和方法的有益性能,以及可用所述前体和方法获得的优异的薄膜。...
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