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一种等离子体反应器，用于产生在诸如太阳能电池制造中的大面积晶片上沉积薄膜中使用的等离子体。等离子体反应器中的等离子体电极单元被划分成多个分立电极，并且根据由时序控制单元控制的预定时序的时间间隔(temporal interval)将RF电力...
该专利属于雷特罗萨米科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过雷特罗萨米科技有限责任公司授权不得商用。

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