下载蒸镀掩膜、蒸镀装置、蒸镀方法及有机EL显示装置的制造方法的技术资料

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提供一种在蒸镀材料蒸镀后,可以统一且以确实短的时间执行蒸镀掩膜的分离的蒸镀方法、蒸镀掩膜及蒸镀装置。包括:形成蒸镀掩膜(1)的步骤(S1),所述蒸镀掩膜(1)具有至少一部分由强磁性体构成的金属层(金属支承层);磁化金属层的步骤(S2),通过...
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