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图案形成用自身组织化组合物及图案形成方法技术
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文档序号:19873908
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本发明的课题在于提供一种即使在形成尺寸较大的图案的情形时,亦能够形成良好的相分离构造的图案形成用自身组织化组合物。此外,本发明的课题在于提供一种在形成微细图案构造时无需底层等而能够以简单的过程形成图案的图案形成用自身组织化组合物。本发明关于...
该专利属于王子控股株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过王子控股株式会社授权不得商用。
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