下载用于化学机械抛光的浆液组合物的技术资料

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本文揭示一种浆液组合物。所述浆液组合物包括0.1wt%到10wt%的磨料、0.01wt%到1wt%的异噻唑分散稳定剂、0.01wt%到1wt%的苯羧酸腐蚀抑制剂、0.01wt%到15wt%的氨基酸螯合剂和0.01wt%到1wt%的由丙烯酰胺...
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