温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种存储单元及其形成方法，所述存储单元包括浮栅结构、控制栅结构和字线结构，所述浮栅结构面向所述字线结构的侧具有尖端。在本发明提供的存储单元及其形成方法中，在浮栅结构面向字线结构的一侧具有尖端，通过尖端的尖端效应，在擦除器件时浮栅...
该专利属于上海华虹宏力半导体制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹宏力半导体制造有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。