下载一种沟槽型MOS晶体管、其制备方法和包含其的电子装置的技术资料

文档序号:19862487

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本发明公开了一种沟槽型MOS晶体管,其制备在衬底上,该MOS晶体管的沟槽分为两段:第一段沟槽和第二段沟槽,第一段沟槽内和第二段沟槽内分别填充第一栅极材料和第二栅极材料,第一栅极材料和第二栅极材料由栅极绝缘层实现物理上隔离,MOS晶体管的栅极...
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