下载一种60μm金刚线切割180μm厚度单晶硅片的工艺的技术资料

文档序号:19862463

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本发明涉及单晶硅片切割领域。一种60μm金刚线切割180μm厚度单晶硅片的工艺,确定金刚线标准:母线直接60±2μm,金刚线直径:72±5μm;破断张力13±0.5N,确定主辊槽距,主辊槽距=金刚线直径+硅片厚度+5μm=257±5μm,选...
该专利属于山西潞安太阳能科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过山西潞安太阳能科技有限责任公司授权不得商用。

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