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一种低导通电阻绝缘体上硅横向绝缘栅双极型晶体管制造技术
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下载一种低导通电阻绝缘体上硅横向绝缘栅双极型晶体管的技术资料
文档序号:19862458
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本发明涉及功率半导体技术,特别涉及一种低导通电阻绝缘体上硅横向绝缘栅双极型晶体管。本发明对传统横向绝缘栅双极型晶体的阴极区进行了改造,通过隔离氧化层分隔成第一NMOS区、第二NMOS区和传统LIGBT区。第一NMOS的漏极通过金属互联与传统...
该专利属于电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学授权不得商用。
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