下载肖特基二极管及其制作方法的技术资料

文档序号:19862451

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本发明实施例提供一种肖特基二极管及其制作方法,所述肖特基二极管包括:硅外延片,所述硅外延片的中部形成有至少一个沟槽,所述硅外延片的位于所述中部相对两侧的边沿分别形成有第一缺口和第二缺口;氧化层;多晶硅层;介质层;阳极金属层,设置于所述介质层...
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