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本发明提供一种柔性基板及其制备方法、阵列基板,所述方法包括以下步骤:先提供一玻璃基板,在所述玻璃基板上制作第一聚酰亚胺薄膜;然后在所述第一聚酰亚胺薄膜表面形成隔离保护层;之后在所述隔离保护层上形成主要功能层;对所述主要功能层进行晶化制程,最...该专利属于武汉华星光电半导体显示技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种柔性基板及其制备方法、阵列基板,所述方法包括以下步骤:先提供一玻璃基板,在所述玻璃基板上制作第一聚酰亚胺薄膜;然后在所述第一聚酰亚胺薄膜表面形成隔离保护层;之后在所述隔离保护层上形成主要功能层;对所述主要功能层进行晶化制程,最...