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本实用新型公开了一种多晶硅还原炉电极安装检漏装置,包括机架,所述机架上设有一个可供电极部分穿过的安装孔,电极穿过部分一侧的机架上设有一个水槽,电极未穿过部分一侧的机架上设有一个封闭的气腔筒,电极未穿过部分被气腔筒包围,气腔筒上设有气嘴和压力...该专利属于厦门佰事兴新材料科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过厦门佰事兴新材料科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种多晶硅还原炉电极安装检漏装置,包括机架,所述机架上设有一个可供电极部分穿过的安装孔,电极穿过部分一侧的机架上设有一个水槽,电极未穿过部分一侧的机架上设有一个封闭的气腔筒,电极未穿过部分被气腔筒包围,气腔筒上设有气嘴和压力...