【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅还原炉电极安装检漏装置
本技术涉及一种多晶硅还原炉电极安装检漏装置。
技术介绍
多晶硅还原炉主要由炉筒、炉筒底部的底盘、电极100等构成，如图3所示，电极100由上至下主要包括位于底盘上方的锥头102部分、抵住底盘的环形凸台101、供穿过底盘进行安装固定的安装段103，安装段103上具有用于锁紧的螺纹。工作时，将反应气体和液体通入炉筒和底盘形成的封闭的反应腔内，这就需要保证电极100安装在底盘上后，所在的安装位置处于密封状态，防止气体或液体泄漏，具体地说，就是环形凸台101与底盘的接触面在加装密封圈后应该处于密封状态，气体或液体不允许从这个接触面泄漏出。所以在将电极100安装到底盘之前，需要一种可以模拟电极100的安装环境以进行检漏的装置。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种多晶硅还原炉电极安装检漏装置，其能够模拟电极的安装环境以进行检漏。为达到上述目的，本技术的技术方案是：一种多晶硅还原炉电极安装检漏装置，包括机架，其特征在于：所述机架上设有一个可供电极部分穿过的安装孔，电极穿过部分一侧的机架上设有一个水槽，电极未穿过部分一侧的机架上设有一个封闭的...
【技术保护点】
1.一种多晶硅还原炉电极安装检漏装置，包括机架，其特征在于：所述机架上设有一个可供电极部分穿过的安装孔，电极穿过部分一侧的机架上设有一个水槽，电极未穿过部分一侧的机架上设有一个封闭的气腔筒，电极未穿过部分被气腔筒包围，气腔筒上设有气嘴和压力表，还设有一个拉紧机构，拉紧机构可将电极由气腔筒一侧向水槽一侧逐渐拉紧，拉紧后整个安装孔边缘与电极的环形凸台贴合，气腔筒和水槽之间具有连通通道，连通通道位于电极环形凸台的贴合范围内。
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅还原炉电极安装检漏装置，包括机架，其特征在于：所述机架上设有一个可供电极部分穿过的安装孔，电极穿过部分一侧的机架上设有一个水槽，电极未穿过部分一侧的机架上设有一个封闭的气腔筒，电极未穿过部分被气腔筒包围，气腔筒上设有气嘴和压力表，还设有一个拉紧机构，拉紧机构可将电极由气腔筒一侧向水槽一侧逐渐拉紧，拉紧后整个安装孔边缘与电极的环形凸台贴合，气腔筒和水槽之间具有连通通道，连通通道位于电极环形凸台的贴合范围内。2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉电极安装检漏装置，其特征在于：所述拉紧机构包括设于机架上的支承架和旋紧把...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗文富，
申请(专利权)人：厦门佰事兴新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35
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