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一种新型高精度控形的平面研磨驱动装置制造方法及图纸
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下载一种新型高精度控形的平面研磨驱动装置的技术资料
文档序号:19839233
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一种新型高精度控形的平面研磨驱动装置,包括伺服电机、轴Ⅰ、齿轮Ⅰ、轴Ⅱ、齿轮Ⅱ、行星架、锥齿轮Ⅰ、锥齿轮Ⅱ、轴Ⅲ、双十字轴式万向联轴器、轴Ⅳ、固定支座、齿轮Ⅲ、导向齿轮Ⅰ、导向齿轮Ⅱ、保持架、齿轮环、用于对研磨盘进行修整且保证研磨盘的平面度...
该专利属于浙江工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江工业大学授权不得商用。
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