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一种基于三足式振子的二自由度球形超声电机，本申请底板两侧各有一个侧支撑，底板上有顶柱座，顶柱在顶柱座内，固定盖安装在顶柱座上，三足式振子下端支撑柱卡装在固定盖内，压力传感器设置在三足式振子下端和顶柱之间，顶柱底部压住楔块体，支座一侧有螺杆座...
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