下载图像传感器及其形成方法的技术资料

文档序号:19832085

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一种图像传感器及其形成方法,所述方法包括:提供半导体衬底;对所述半导体衬底进行碳离子注入,以在所述半导体衬底内形成碳化物层;生长外延层,所述外延层覆盖所述半导体衬底。本发明方案可以利用碳化物层对金属粒子的吸附能力,降低外延层内的金属污染,提...
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