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半导体器件制造技术
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文档序号:19832017
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一种半导体器件包括:存储单元区域,包括沿着沟道孔布置的存储单元,沟道孔提供在基板上以在垂直于基板的上表面的方向上延伸;以及外围电路区域,设置在存储单元区域的外面并包括低电压晶体管和高电压晶体管。低电压晶体管包括第一晶体管,该第一晶体管包括第...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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