温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供了一种半导体器件及其制备方法和电子装置。所述方法包括：提供半导体衬底；在所述半导体衬底上形成鳍片，其中所述鳍片的底部关键尺寸大于所述鳍片的顶部关键尺寸，所述鳍片的底部和所述鳍片的顶部呈台阶形结构。其中所述半导体器件中的鳍片顶部和底...该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司;中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。