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本发明提供一种功率器件，其包括基板及设置在所述基板上的芯片，所述芯片包括衬底和形成在所述衬底的导热组件，所述导热组件包括多个间隔形成在所述衬底下表面的沟槽、形成在所述沟槽内的第一金属层、形成在所述衬底上与所述基板相连的第二金属层，所述沟槽的...
该专利属于盛世瑶兰（深圳）科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛世瑶兰（深圳）科技有限公司授权不得商用。

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