下载一种晶硅太阳能SE电池刻蚀使用无机碱的方法的技术资料

文档序号:19831796

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本发明公开了一种晶硅太阳能SE电池刻蚀使用无机碱的方法,包括以下步骤:S1、扩散:对SE电池进行两步扩散;其中,第一步:扩散温度设置为730℃‑780℃,氧流量设置为800‑1200ml/min,扩散时间设置为600s;第二步:扩散温度设置...
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