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本发明是在使用碳酸气体溶解水的湿式洗净工艺中，高度地去除混入于碳酸气体溶解水中的极微小微粒而防止微粒污染，并将被洗净物洗净成高洁净度。本发明的湿式洗净装置，其通过使碳酸气体溶解于超纯水而成的碳酸气体溶解水洗净被洗净物，其特征在于，其具有：碳...
该专利属于栗田工业株式会社;旭化成株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过栗田工业株式会社;旭化成株式会社授权不得商用。

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