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本发明提供一种靶材的包装方法和包装工具，其中，所述靶材包括溅射面和位于所述靶材溅射面内的沟槽，所述包装方法包括：保护体，所述保护体包括接触面，所述保护体包括中心区域，所述中心区域保护体的接触面用于与所述靶材溅射面贴合；位于所述中心区域保护体...
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