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本发明公开了一种高分辨率高效率投影光刻成像系统及曝光方法，包括数字微镜阵列DMD、远心成像系统、微透镜阵列和分光光路装置，数字微镜阵列DMD通过远心成像系统成像于微透镜阵列，微透镜阵列聚焦成像为更小尺寸的光斑阵列，光斑阵列通过第二次远心成像...
该专利属于苏州源卓光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州源卓光电科技有限公司授权不得商用。

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