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本发明提供一种剥离CVD机台内剥离玻璃基板的方法，所述方法包括以下步骤：先将下电极板向远离上电极板的方向以第一预设速度下降至第一预设距离，此时边缘支撑棒刚好接触到所述玻璃基板；然后设定所述下电极板以第二预设速度下降至第二预设距离，此时所述玻...
该专利属于深圳市华星光电半导体显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市华星光电半导体显示技术有限公司授权不得商用。

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