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本发明涉及一种碳纳米管增强太赫兹硅光栅调制器及制作方法，利用一种新的加工技术途径，针对太赫兹频段的调制器件，提供一种单壁碳纳米管聚丙烯酸乳液复合物与悬空梯形硅光栅结合的复合结构。该调制器件可以在太赫兹波入射情况下，实现特定太赫兹波波长的调制...
该专利属于上海理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海理工大学授权不得商用。

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