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本发明公开一种晶体管型甲醛传感器及其制作方法，其中，所述晶体管型甲醛传感器包括基底、设置在所述基底上的栅电极、设置在所述栅电极上的介电层、设置在所述介电层上的复合薄膜、设置在所述复合薄膜上的源电极和漏电极，所述复合薄膜为吸附有金属纳米颗粒的...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

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