【技术实现步骤摘要】
一种晶体管型甲醛传感器及其制作方法
本专利技术涉及传感器器件领域，尤其涉及一种晶体管型甲醛传感器及其制作方法。
技术介绍
甲醛传感器作为一种半导体气体传感器，是家居环境检测中重要的气敏原件，但是现有的有甲醛传感器选择性都不高，虽然其具有大部分半导体气体传感器具有的制作简单、成本低、使用方便、易于与测试系统配套、便于更换、可以直接将气体浓度转换成电信号等优点，但实际应用中也存在着稳定性和选择性差、敏感机理复杂、工作温度高、寿命短等缺点，如何提高这类传感器的综合性能成了研究这一类传感器的工作重点。因此，现有技术还有待于改进和发展。
技术实现思路
鉴于上述现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种晶体管型甲醛传感器及其制作方法，旨在解决现有技术中甲醛传感器稳定性、选择性较差的问题。本专利技术的技术方案如下：一种晶体管型甲醛传感器，其中，包括基底、设置在所述基底上的栅电极、设置在所述栅电极上的介电层、设置在所述介电层上的复合薄膜、设置在所述复合薄膜上的源电极和漏电极，所述复合薄膜为吸附有金属纳米颗粒的氧化锌薄膜。所述的晶体管型甲醛传感器，其中，所述复合薄膜中，金属纳米颗粒通...
【技术保护点】
1.一种晶体管型甲醛传感器，其特征在于，包括基底、设置在所述基底上的栅电极、设置在所述栅电极上的介电层、设置在所述介电层上的复合薄膜、设置在所述复合薄膜上的源电极和漏电极，所述复合薄膜为吸附有金属纳米颗粒的氧化锌薄膜。
【技术特征摘要】
1.一种晶体管型甲醛传感器，其特征在于，包括基底、设置在所述基底上的栅电极、设置在所述栅电极上的介电层、设置在所述介电层上的复合薄膜、设置在所述复合薄膜上的源电极和漏电极，所述复合薄膜为吸附有金属纳米颗粒的氧化锌薄膜。2.根据权利要求1所述的晶体管型甲醛传感器，其特征在于，所述复合薄膜中，金属纳米颗粒通过静电吸附在氧化锌薄膜上。3.根据权利要求1所述的晶体管型甲醛传感器，其特征在于，所述金属纳米颗粒为金纳米颗粒、银纳米颗粒和铂纳米颗粒中的一种或多种。4.根据权利要求1所述的晶体管型甲醛传感器，其特征在于，所氧化锌薄膜由经碱金属元素掺杂改性的氧化锌制成。5.根据权利要求4所述的晶体管型甲醛传感器，其特征在于，所述氧化锌薄膜中，碱金属元素与氧化锌的摩尔比为0.01：1~0.15：1。6.根据权利要求1所述的晶体管型甲醛传感器，其特征在于，所述基底为柔性基底，所述栅电极为金属栅电极且所述介电层为氧化铝介电层。7.一种晶体管型甲醛传感...
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